Filmetrics R50系列提供接觸式四點(diǎn)探針（4PP）和非接觸式渦流（EC）測(cè)量。

R50系列電阻率測(cè)量儀

• 四點(diǎn)探頭和渦流探測(cè)系統(tǒng)

• 以矩形，線性，極性和自定義配置

• X-Y行程可達(dá)200mm

• 在導(dǎo)體和半導(dǎo)體薄膜上測(cè)量方塊電阻的范圍較大

• 接觸式和非接觸式測(cè)量

電阻率測(cè)量儀標(biāo)準(zhǔn)功能

• 具有以下功能的自動(dòng)X-Y平臺(tái):

    100mm x 100mm行程

    200mm x 200mm行程（-200型號(hào)）

• 100mm Z載物臺(tái)行程

• 傾斜臺(tái)，行程+/-5o

• 不限數(shù)量的測(cè)量樣本圖中的位置

RsMapper軟件:

測(cè)量自動(dòng)化地圖模式生成器，內(nèi)置的地圖模式生成器使您輕松生成需要測(cè)量的斑點(diǎn)圖案樣品的相關(guān)區(qū)域，從而節(jié)省了數(shù)據(jù)采集期間的時(shí)間。

這只是您可以使用的一些參數(shù)。

進(jìn)行調(diào)整以自定義地圖的屬性:

• 圓形或正方形地圖

• 徑向或矩形圖案

• 中心或邊緣排除

• 點(diǎn)密度